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教育・研究業績
藤本 雅則(フジモト マサノリ/FUJIMOTO MASANORI)

業績区分 会議発表論文 − 国際会議録(プロシーディング)
プレゼン資料 なし

タイトル 日本語  
英語 Observation of dynamical behavior of slurry particles under DC electric field and its evaluation
著者 共著

 氏名役割
1日本語藤本 雅則 
英語FUJIMOTO MASANORI 
2日本語畝田 道雄 
英語UNEDA MICHIO 

 
誌名 日本語  
英語 PROCEEDINGS INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLANARIZATION/CMP TECHNOLOGY
  pp.318 - 321
出版者 日本語  
英語 INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLANARIZATION/CMP TECHNOLOGY
出版年月 2018年 10月 16日
研究範囲 基礎的研究
査読の有無 簡易な査読
招待の有無 通常論文
記述言語 英語
掲載区分 海外
掲載種別 研究発表要旨(国際会議)
ISSN  
ID:DOI  
ID:NAID(CiNiiのID)  
ID:PMID  
Permalink  
URL  
概要 日本語  
英語  
キーワード 日本語 英語